冷凝泵的常识

发布时间:2022-12-19 点击量:155

  冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵。冷凝泵是一种低极限压力、高抽速的真空泵,以获得洁净的真空。广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪、离子注入机和空间模拟器。由于其清洁无污染、高效率、高抽速、高可靠性等突出优点,广泛应用于科研实验室乃至工业生产等诸多领域,如半导体材料制造、平板显示生产/测试设备、太阳能制造、真空镀膜、热真空系统等。

  冷凝泵运行时振动过大、噪音大的原因:

  1.发生气穴现象。空化过程中会产生气泡和气泡破裂,从而引起振动和噪声。如果振动是由泵汽蚀引起的,则需要考虑改变安装高度或增加系统压力。此外,选择合适类型的泵非常重要。

  2.冷凝泵转子平衡降低。当转子不平衡时,转子中心与旋转的新偏差过大,转子旋转时会产生不平衡力,特别是转速高时,振动会更明显。一方面可能是制造或装配,转子平衡不符合设计要求;另一方面,可能是泵运行一定时间后,由于某些原因,如轴受力变形、零件偏心磨损过大等,导致转子的平衡精度下降。在这两种情况下,都需要重新平衡转子。

  3.冷凝泵在非设计工况区运行。尽量使泵在额定流量扬程附近运行,尽量避免低流量高流量运行,否则水力冲击增大会引起振动。当水流从叶轮叶片的外端经过导叶或冷凝泵的舌部时,会产生水力冲击,虽然冲击的程度随着泵的转速和尺寸的增大而增大,但当这种水力脉冲船舶管路系统为基础时,会产生噪声和振动。如果这种水中脉冲的频率接近泵轴、管道系统或基础的固有频率,就会产生更严重的共振。

  4.轴承损坏或不匹配。如果轴承损坏,除了本身的运行噪声外,还会使转子的运动失去稳定性,从而使泵机组的振动和噪声增大。此外,轴承的径向间隙过大也会产生噪音。更换冷凝泵轴承可以解决问题。

  5.安装问题。比如冷凝泵与底座、底座与基础之间有松动,电机与泵的联轴器同轴度低,就可能产生振动和噪音,需要重新拧紧连接螺栓或重新校准。

  以上就是关于冷凝泵的一些知识点,希望大家可以认真学习了解相关知识。


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